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等離子灰化機

產(chǎn)品中心 > 等離子裝置 > 等離子灰化機

1

等離子灰化機

產(chǎn)品詳細

PDC200/210/510
等離子清洗機特點：
RIE模式標配(DP切換為選購)等離子的均應(yīng)性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面。

等離子清洗機用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理有機膜和金屬氧化膜的除去印刷電路基板的干洗界面活性處理

型號	PDC200	PDC210	PDC510
模式	RIE模式（DP選配）		DP/RIE切換方式
電極制造	平行平板電極（固定）
頻率	13.56MHz
控制方式	自動聯(lián)動液晶觸摸屏控制
反應(yīng)室材質(zhì)	鋁
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)(Ar/02)
充填氣體	N2/潔凈干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制	流量計	聚合控制器	聚合控制器
真空泵	另行選配	油回旋真空泵（排氣量345L/min）	油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2套、填充氣體1套
高頻輸出功率	Max.300W	Max.500W	Max.500W
溫度設(shè)定方式	用上下鍵進行數(shù)碼設(shè)定
反應(yīng)室尺寸（mm）	400×250×150	400×250×150	500×300×200
電極尺寸（mm）	250×170	250×170	400×200
外形尺寸（mm）	540×600×600	540×600×600	700×700×700
電源(50/60Hz)	單相AC100V 15A	3相AC200V 15A	3相AC200V 15A

上一個：等離子清洗機

下一個：大型等離子清洗機

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