HR50-IIA2
性能參數(shù)
| 大氣壓 | 70~106 |
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| 工作臺(tái)面中心振動(dòng)靜位移μm(rms) | 2.9 |
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| 主過(guò)濾器類別 | ULPA |
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| 人員保護(hù) | 1~2 |
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| 主過(guò)濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
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| 下降氣流速度(m/s） | 0.28 |
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| 流入氣流速度(m/s） | 0.55 |
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規(guī)格
| 工作室內(nèi)表面材質(zhì) | SUS304 |
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| 腳輪 | 有 |
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功能參數(shù)
| 過(guò)濾器阻塞報(bào)警 | 有 |
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| 過(guò)濾器破損報(bào)警 | 有 |
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| 前窗玻璃防紫外線 | 有 |
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